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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：在本申请提供的多模式等离激元宽带增强光电探测器及制备方法中，对石英片进行清洗，得到洁净石英片，通过机械剥离和干法转移技术将二硫化钨材料转移至洁净石英片表面；对含有二硫化钨材料的石英片，使用光刻和电子束蒸镀技术制备金属电极，得到与二硫化钨材料接触的金属电极对；对含有二硫化钨材料和金属电极对的石英片，使用光刻和磁控溅射技术制备等离激元层，以形成多模式等离激元宽带增强的二硫化钨近红外光电探测器，等离激元层与二硫化钨材料接触且未接触金属电极对，等离激元层位于金属电极对中间。如此，制备得到的光电探测器，基于多模式的等离激元共振，能够显著提高光吸收效率和光电转换效率，且在近红外区域也能实现宽波段光电响应。
主权项：1.一种多模式等离激元宽带增强光电探测器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：对石英片进行清洗，得到洁净的石英片，并通过机械剥离和干法转移技术将二硫化钨材料转移至洁净的石英片表面；对含有所述二硫化钨材料的石英片，使用光刻和电子束蒸镀技术制备金属电极，得到与所述二硫化钨材料接触的金属电极对；对含有所述二硫化钨材料和所述金属电极对的石英片，使用光刻和磁控溅射技术制备等离激元层，以形成多模式等离激元宽带增强的二硫化钨近红外光电探测器，所述等离激元层与所述二硫化钨材料接触且未接触所述金属电极对，所述等离激元层位于所述金属电极对中间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 多模式等离激元宽带增强光电探测器及制备方法
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