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申请/专利权人：复旦大学义乌研究院

摘要：本发明属于原子层沉积镀膜技术领域，具体为一种用于粉末流化原子层沉积的反应腔装置及其使用方法。本发明反应腔装置包括反应腔本体、底部进气口、顶部出气口、反应腔旁路和吹扫气体支路，反应腔旁路是与反应腔气体输送主管路并联的气体输送管路，该旁路起始于反应腔底部进气端，终止于反应腔顶部出气端的隔膜阀，该旁路的开启由控制阀控制；底部滤片为非均一孔隙的金属粉末烧结滤片，顶部过滤器上耦合有测温穿插件和气体吹扫支路。本发明利用流化气体从下至上分散反应腔内的粉末，有效提高粉末流化原子层沉积的残余气体抽取效率，抑制粉末稀相层高度，监测反应腔体内部温度，对顶部过滤器上的附着粉末进行吹扫，有效流化反应腔内的粉末。

主权项：1.一种用于粉末流化原子层沉积的反应腔装置，其特征在于，包括反应腔本体、进气口、出气口、反应腔旁路、吹扫气体支路；其中：所述反应腔本体，为不锈钢材质或者可伐合金管与石英玻璃封接的结构，分为流化段、过渡段、扩大段；流化段、扩大段为圆筒形，扩大段的直径大于流化段的直径，两者中间由过渡段连接，即所述过渡段为锥台形；其锥台母线与垂直方向的夹角为7～15°；所述进气口，设置于反应腔体底部，进气口处设置有滤片，该滤片由不锈钢金属粉末或钛金属粉末烧结而成；所述出气口，设至于反应腔本体顶部，出气口端与外部的真空泵连接，在连接管路上设置有隔膜阀；所述真空泵用于装置抽真空以及尾气处理；出气口下方即反应腔本体扩大段处设置有过滤器，该过滤器具有不少于3个中空圆柱过滤芯；过滤芯为不锈钢金属粉末或钛金属粉末烧结而成，过滤芯孔隙为10微米～20微米；过滤芯壁厚2～3mm；所述反应腔旁路，是与反应腔气体输送主管路并联的气体输送管路，该旁路起始于反应腔底部进气口端并与反应腔出气口端的隔膜阀汇接，旁路上设置有控制阀门，控制其开关状态；所述反应腔旁路用于对反应腔抽真空和洗气操作；所述吹扫气体支路，设置于反应腔顶部出气口端处，并与吹扫气体的管路连接，该连接管路上设置有质量流量控制器和电磁阀，用于控制吹扫气体流量；反应腔顶部出气口端处还设有温度穿插部件，所述部件与反应腔内部环境被过滤芯隔离；所述顶部过滤器与测温穿插件和气体吹扫支路耦合；所述吹扫气体支路用于，在对粉末进行镀膜的过程中，间断性的对过滤器附着粉末进行吹扫；在镀膜反应结束后，通过控制吹扫气体支路上的控制阀而对反应腔体进行破真空。

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