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申请/专利权人：北京机床研究所有限公司
摘要：本发明涉及超精密静压导轨的测试技术领域，提供一种超精密静压导轨的性能测试装置，包括基座、工作平台、导轨组件、安装座、防护罩、激光干涉组件、位移支架和调整座，基座设有多个气浮隔振件，工作平台与气浮隔振件连接，并位于基座上方，气浮隔振件用于支撑工作平台，工作平台用于支撑各部件。通过气浮隔振件的设置使得工作平台能够隔离由于振动产生的影响，且防护罩的设置，使得激光组件能够避免外部环境影响，提高了测量精度能够适用于超精密级的测量。进一步，通过导轨组件、位移支架和安装座的位置布局，以及与激光干涉组件、刚度测试组件、直线度测试组件的配合，实现了在同一工作平台上多个性能指标的测试，提高了测试效率。
主权项：1.一种超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，包括：基座，设有多个气浮隔振件；工作平台，与所述气浮隔振件连接，并位于所述基座上方，所述气浮隔振件用于支撑所述工作平台；导轨组件，设于所述工作平台上，所述导轨组件包括两个间隔设置的滑轨，所述滑轨的两端均设有位置传感器，且两个所述滑轨之间形成有安装空间；安装座，设于所述安装空间内，所述安装座上设有用于安装待测工件的滑动平台，所述滑动平台与所述安装座滑动连接，所述滑动平台配置为沿第一方向滑动；防护罩，设于所述工作平台上，所述防护罩由所述安装座一端沿所述第一方向延伸，以使得所述防护罩在所述第一方向上横跨所述安装座，且所述防护罩内形成有内部通道；激光干涉组件，设于所述防护罩远离所述安装座一端，所述激光干涉组件的激光发射端位于所述内部通道内，所述激光干涉组件配置为检测待测工件的精度性能；位移支架，与所述滑轨滑动连接，所述位移支架设有刚度测试组件，所述刚度测试组件用于对待测工件的刚度性能进行测试；调整座，设于所述安装座的至少一侧，所述调整座上设有放置台，所示放置台用于安装功能检测组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京机床研究所有限公司 超精密静压导轨的精度性能测试装置及试验平台
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