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申请/专利权人：陕西西部传感技术有限公司
摘要：本发明公开了一种耐高温高过载的单晶硅差压传感器，属于差压传感器技术领域。该差压传感器，包括基体A和基体B，基体B与基体A之间设置有毛细管组；基体A包括负压膜片基座和正压膜片基座，负压膜片基座和正压膜片基座之间设置有中心膜片，负压膜片基座外侧端设置有负压端波纹感压膜片，正压膜片基座外侧端设置有正压端波纹感压膜片；毛细管组包括正压端毛细管和负压端毛细管，正压端毛细管与正压膜片基座连接，负压端毛细管与负压膜片基座连接，本发明通过充油毛细管的散热使整体本申请可以满足现场高温流体介质的差压测量。本发明采用三膜片结构的设计，可在高过载及高静压工况下正常使用。
主权项：1.一种耐高温高过载的单晶硅差压传感器，其特征在于：包括基体A和基体B，所述基体A与基体B之间设置有毛细管组，所述基体B内设置有传感器感压芯片（15）；所述基体A内设置有三膜片结构，所述三膜片结构包括中心膜片（3）、负压端波纹感压膜片（4）和正压端波纹感压膜片（5）；所述基体A包括负压膜片基座（1）和正压膜片基座（2），所述中心膜片（3）设置于负压膜片基座（1）和正压膜片基座（2）之间，所述负压端波纹感压膜片（4）设置于负压膜片基座（1）靠近外侧一端，所述正压端波纹感压膜片（5）设置于正压膜片基座（2）靠近外侧一端；所述毛细管组包括正压端毛细管（6）和负压端毛细管（7），所述正压端毛细管（6）与正压膜片基座（2）连接，所述负压端毛细管（7）与负压膜片基座（1）连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陕西西部传感技术有限公司 一种耐高温高过载的单晶硅差压传感器
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