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申请/专利权人：无锡华润上华科技有限公司
摘要：本发明涉及一种晶圆容器更换时机的确定方法、计算机设备及存储介质，所述方法包括：响应于后段工艺中的当前工艺站点处于根据历史数据确定的延时膨胀区，在下一工艺站点进行晶圆容器的更换；所述延时膨胀区与所述晶圆容器的清洗周期及所述历史数据中工艺时段的各时间点的极差有关，若所述极差相对于所述清洗周期足够大则对应的工艺时段为延时膨胀区，所述清洗周期与清洗设备的清洗产能及晶圆容器更换时每批的更换数量有关；响应于距上一次更换晶圆容器的时间已达到所述清洗周期，在所述当前工艺站点的工艺完成后进行晶圆容器的更换。本发明能够减小晶圆受到颗粒的影响，提升晶圆产品良率。
主权项：1.一种晶圆容器更换时机的确定方法，包括：响应于后段工艺中的当前工艺站点处于根据历史数据确定的延时膨胀区，在下一工艺站点进行晶圆容器的更换；所述延时膨胀区与所述晶圆容器的清洗周期及所述历史数据中工艺时段的各时间点的极差有关，若所述极差相对于所述清洗周期足够大则对应的工艺时段为延时膨胀区，所述清洗周期与清洗设备的清洗产能及晶圆容器更换时每批的更换数量有关；响应于距上一次更换晶圆容器的时间已达到所述清洗周期，在所述当前工艺站点的工艺完成后进行晶圆容器的更换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡华润上华科技有限公司 晶圆容器更换时机的确定方法、计算机设备及存储介质
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