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弹性波器件 

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申请/专利权人:三安日本科技株式会社

摘要:本申请涉及一种弹性波器件,其中,该弹性波器件包括器件芯片、功能元件、支撑层和覆盖层,器件芯片的外周具有凸块的通过孔,通过孔贯通支撑层以及覆盖层;在覆盖层中,通过孔在与其孔轴正交的方向的截面的轮廓包括两个第一直线状部、两个第二直线状部、以及四个角部;在覆盖层中的与通过孔的角部相邻的部分,在仿照第一直线状部的假想的直线和仿照第二直线状部的假想的直线的交叉部位、或者在交叉部位的附近,形成由相对于覆盖层从贯通孔或覆盖层的外表面侧朝向其内表面侧凹陷的凹部所构成的空腔,通过本申请,可以有效抑制在上述角部产生裂纹的情况。

主权项:1.一种弹性波器件,包括器件芯片、功能元件、支撑层和覆盖层,其特征在于,所述功能元件形成于所述器件芯片的一面上;所述支撑层形成于所述器件芯片的一面和所述覆盖形层的中间,用于支撑所述覆盖层;所述功能元件,位于所述器件芯片、所述支撑层和所述覆盖层成的内部空间中;所述器件芯片的外周具有凸块的通过孔,所述通过孔贯通所述支撑层以及所述覆盖层,以使与所述功能元件连接的凸块焊盘位于所述通过孔的孔底位置;在所述覆盖层中,所述通过孔在与其孔轴正交的方向的截面的轮廓包括两个第一直线状部、两个第二直线状部、以及四个角部;所述角部形成于所述第一直线状部与所述第二直线状部之间;在所述覆盖层中的与所述通过孔的所述角部相邻的部分,在仿照所述第一直线状部的假想的直线和仿照所述第二直线状部的假想的直线的交叉部位、或者在所述交叉部位的附近,形成由相对于所述覆盖层从贯通孔或所述覆盖层的外表面侧朝向其内表面侧凹陷的凹部所构成的空腔。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三安日本科技株式会社 弹性波器件

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