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一种基于聚多巴胺的抗体固定方法及在FET生物传感器的应用 

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申请/专利权人:湘潭大学

摘要:本发明涉及生物传感器技术领域,且公开了一种基于聚多巴胺的抗体固定方法及在FET生物传感器的应用,本发明目的在于解决抗体固定的修饰步骤过长,修饰时间过长的问题,提出了通过利用聚多巴胺固定抗体的方法。聚多巴胺是皮肤中黑色素的仿生类似物,含有丰富的儿茶酚基团,能与几乎任何物质发生粘连。此种方法不仅节省时间,操作简便,而且最重要的是,当传感器的批次性较好时,可以将功能化这个步骤对传感器的影响降低,避免了多步修饰带来的机械偏差。

主权项:1.一种基于聚多巴胺的抗体固定方法及在FET生物传感器的制备方法,其特征在于,所述包括以下步骤:1在硅衬底上沉积一定厚度的SiO2作为介质层,形成SiSiO2结构;2在SiO2介质层的上表面沉积一层网络状CNT薄膜,纯度优选达到99.97-99.99%;3使用LOR和S1813两种光刻胶在匀胶机上对沉积有CNT薄膜的SiSiO2双层结构的表面进行匀胶,利用光刻工艺曝光出相应图形后,对CNT薄膜进行刻蚀,获得CNT沟道;4使用紫外光刻机将源极电极S、漏极电极D、金属引线以及施加电压的金属pad图案进行曝光后,使用电子束蒸发镀膜仪沉积一层TiPdAu金属,厚度分别为0.62060nm,形成源极电极S、漏极电极D、金属引线以及输出电极;5再次进行匀胶、曝光,利用电子束蒸镀在CNT沟道层上表面蒸镀金属钇,在270-280℃的热板上利用空气中的自由氧进行氧化进而形成氧化钇;6接着再利用ALD在氧化钇表面生长一层氧化铪作为介质层;7最后,再进行匀胶、曝光,对器件的对源极电极S和漏极电极D以及金属引线使用S1813光刻胶进行绝缘封装处理,使所述生物传感器在正常工作时,仅生物传感界面和施加栅极电压的银丝暴露在液体环境中,保证器件的导电区域在测量生物分子时不被液体环境影响。

全文数据:

权利要求:

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