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一种薄膜探针卡及其探针针尖更换工艺 

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申请/专利权人:强一半导体(苏州)股份有限公司

摘要:本申请提出了一种薄膜探针卡及其探针针尖更换工艺,该薄膜探针卡包括薄膜探针主体、开设在薄膜探针主体底面上的若干探针座以及若干探针针尖,各探针座均具有向内凹陷的空腔,空腔内填充有第一金属,若干探针针尖的上端部分别通过第一金属固定在空腔内。本申请采用电镀的方法将新的探针针尖锚定在探针座中,可以减少薄膜损耗,实现对薄膜探针主体的重复利用,还可以节约测试成本和加工周期。由于影响探针卡高频性能的线路都在薄膜探针主体当中,因此通过本申请的工艺更换探针针尖不会影响探针卡的高频性能。

主权项:1.一种薄膜探针卡,其特征在于:包括薄膜探针主体、开设在所述的薄膜探针主体底面上的若干探针座以及若干探针针尖,各所述的探针座均具有向内凹陷的空腔,所述的空腔内填充有第一金属,若干所述的探针针尖的上端部分别通过第一金属固定在空腔内。

全文数据:

权利要求:

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