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一种晶棒直径测量装置及方法 

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申请/专利权人:西安奕斯伟材料科技股份有限公司

摘要:本公开提供一种晶棒直径测量装置及方法,该晶棒直径测量装置包括:固定单元,包括架体构件和两个旋转构件,两个旋转构件被配置为沿待测晶棒的径向方向间隔开布置在架体构件上;检测单元,包括两个检测杆,一个检测杆的轴向一端对应地连接在一个旋转构件上,检测杆布置为能够与待测晶棒的周面相切,且旋转构件被配置为能够使两个检测杆在与待测晶棒的周面抵靠时发生相对转动,以使两个检测杆的轴向延伸线之间夹角发生变化;感应单元,包括两个感应器,一个检测杆上对应设置有一个感应器,感应器被配置为用于基于夹角变化,产生相应的感应信号。本公开提供的晶棒直径测量装置及方法,能够提高测量效率及测量准确性,减少操作人员烫伤风险。

主权项:1.一种晶棒直径测量装置,其特征在于,包括:固定单元,包括架体构件和两个旋转构件,两个所述旋转构件被配置为沿待测晶棒的径向方向间隔开布置在所述架体构件上;检测单元,包括两个检测杆,一个所述检测杆的轴向一端对应地连接在一个所述旋转构件上,所述检测杆布置为能够与待测晶棒的周面相切,且所述旋转构件被配置为能够使两个所述检测杆在与所述待测晶棒的周面抵靠时发生相对转动,以使两个所述检测杆的轴向延伸线之间夹角发生变化;及感应单元,包括两个感应器,一个所述检测杆上对应设置有一个所述感应器,所述感应器被配置为用于基于所述夹角变化,产生相应的感应信号。

全文数据:

权利要求:

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