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申请/专利权人：山东理工大学

摘要：一种多相无水基磁性剪切增稠抛光液及其制备方法，属于超精密加工技术领域。多相无水基磁性剪切增稠抛光液以质量分数100%计，酸性试剂质量百分比为20％‑25％，多羟基聚合物质量百分比为30％‑40％，挥发性有机溶剂质量百分比为10％‑20％，磁性颗粒质量百分比为5‑10％，抛光磨粒质量百分比为3‑5％，过氧化氢醇质量百分比为5‑15％，稳定剂质量百分比为0.5％‑1.0％，表面活性剂质量百分比为1.0％‑1.5％，余量为硅油，抛光液的pH值为1.5‑4.0。本发明的多相无水基磁性剪切增稠抛光液，能改善传统水基抛光液因久置水分蒸发而导致的抛光液浓度变化和沉积，延长抛光液使用寿命，酸性试剂能使工件表面氧化，形成软化层，提高抛光效率，添加剂可以调节抛光液粘度，提高整体分散性。

主权项：1.一种多相无水基磁性剪切增稠抛光液的制备方法，其特征在于，所述制备方法的具体步骤如下：（a）所述多相无水基磁性剪切增稠抛光液以质量分数100%计，酸性试剂质量百分比为20％-25％，多羟基聚合物（3）质量百分比为30％-40％，挥发性有机溶剂质量百分比为10％-20％，磁性颗粒（1）质量百分比为5-10％，抛光磨粒（4）质量百分比为3-5％，过氧化氢醇质量百分比为5-15％，稳定剂质量百分比为0.5％-1.0％，表面活性剂（2）质量百分比为1.0％-1.5％，余量为硅油；（b）将具有预设质量百分比的酸性试剂、多羟基聚合物（3）和挥发性有机溶剂通过超声混合搅拌得到均匀的初步混合溶液；（c）将所述初步混合溶液放入真空恒温干燥箱中进行静置，去除所述挥发性有机溶剂，得到剪切增稠抛光初始溶液，所述真空恒温干燥箱静置时温度为30-50℃，静置时长为5-7h；（d）将所述剪切增稠抛光初始溶液恒温干燥，得到剪切增稠抛光基液颗粒，所述真空恒温干燥箱干燥时温度为70-80℃，恒温干燥的时间为8-10h；（e）将具有预设质量百分比的磁性颗粒（1）和抛光磨粒（4）加入到硅油中混合均匀，通过超声系统分散5-10min，得到无水基初始溶液；（f）设定恒速机械搅拌器的转速为300-600rmin，将具有预设质量百分比的稳定剂、过氧化氢醇、表面活性剂（2）和无水基初始溶液加入恒速机械搅拌器，搅拌5-10min后得到无水基磁性初始溶液；（g）加入pH调节剂后充分搅拌直至混合均匀，调整抛光液整体pH值至1.5-4.0，得到无水基磁性混合溶液；（h）将上述剪切增稠抛光基液颗粒和无水基磁性混合溶液通过超声混合，得到多相无水基磁性剪切增稠抛光液。

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