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申请/专利权人：闻泰通讯股份有限公司
摘要：本发明公开了一种反射杯结构的制作方法、反射杯结构和半导体器件，反射杯结构的制作方法包括：在玻璃基板上定义出金属BM黑矩阵层；在玻璃基板上均匀旋涂第一光阻层且覆盖金属BM层；将第一光阻层对应金属BM层的区域曝光显影出梯形结构；对梯形结构进行二次曝光脱色处理；通过电子束蒸镀在梯形结构表面沉积一层金属反射层；在金属反射层上均匀涂布第二光阻层；显影去除金属反射层有效反光区外的第二光阻层；对金属反射层有效反光区外的区域进行蚀刻，保留有效反光区所在区域的金属反射层。由此，不仅可以简化反射杯结构的制作流程，降低制作成本，而且可以在不增加额外工艺的前提下保证梯形结构不被破坏，使反射杯结构的制作流程更加可靠。
主权项：1.一种反射杯结构的制作方法，其特征在于，包括：在玻璃基板11上定义出金属BM黑矩阵层12；在所述玻璃基板11上均匀旋涂第一光阻层且覆盖所述金属BM层12；将所述第一光阻层对应所述金属BM层12的区域曝光显影出梯形结构；对所述梯形结构进行二次曝光脱色处理；通过电子束蒸镀在所述梯形结构表面沉积一层金属反射层14；在所述金属反射层14上均匀涂布第二光阻层；显影去除所述金属反射层14有效反光区外的第二光阻层；对所述金属反射层14有效反光区外的区域进行蚀刻，保留有效反光区所在区域的所述金属反射层14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 闻泰通讯股份有限公司 反射杯结构的制作方法、反射杯结构和半导体器件
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