龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：圆益IPS股份有限公司
摘要：根据本发明的一实施例的基板处理装置，包括：工艺腔室，在内部形成反应空间；基板支撑部，具有基座板与多个真空孔、真空线路，并且分别设置在所述反应空间来支撑多个基板，所述多个真空孔形成在所述基座板的上面，所述真空线路通过所述多个真空孔分别与配置在外部的泵连接；气体喷射部，包括多个气体喷射单元，所述多个气体喷射单元与所述基板支撑部相向的同时呈放射状配置，以向所述反应空间喷射工艺气体；及控制部，根据通过所述气体喷射部供应的气体的种类调节所述多个基板的固定力。
主权项：1.一种基板处理装置，包括：工艺腔室，在内部形成反应空间；基板支撑部，具有基座板与多个真空孔、真空线路，并且设置在所述反应空间来支撑多个基板，所述多个真空孔形成在所述基座板的上面，所述真空线路通过所述多个真空孔分别与配置在外部的泵连接；气体喷射部，包括多个气体喷射单元，所述多个气体喷射单元与所述基板支撑部相向的同时呈放射状配置，以向所述反应空间喷射工艺气体；及控制部，根据通过所述气体喷射部供应的气体的种类调节所述多个基板的固定力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 圆益IPS股份有限公司 基板处理装置及基板处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号