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申请/专利权人：DIC株式会社
摘要：本发明提供感光性树脂组合物、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜。本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其具有以往的正型感光性树脂组合物所没有的碱溶解性、感光剂亲和性、以及在制成抗蚀剂膜时的低温固化性及低体积收缩性。一种正型感光性树脂组合物，其含有下述成分A～D，A由间甲酚衍生的结构单元a1、由苯甲醛衍生的结构单元a2及由水杨醛衍生的结构单元a3的摩尔比a1：a2：a3为1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的酚醛清漆型酚醛树脂B感光剂C热交联剂D有机溶剂。
主权项：1.一种正型感光性树脂组合物，其含有下述成分A～D；A由间甲酚衍生的结构单元a1、由苯甲醛衍生的结构单元a2及由水杨醛衍生的结构单元a3的摩尔比即a1：a2：a3为1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的酚醛清漆型酚醛树脂，B感光剂，C热交联剂，D有机溶剂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： DIC株式会社 感光性树脂组合物、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜
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