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衍射样品的图像恢复方法、设备及存储介质 

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申请/专利权人:光科芯图(北京)科技有限公司

摘要:本发明涉及光刻技术领域,特别涉及一种衍射样品的图像恢复方法、设备及存储介质,包括以下步骤:获取衍射样品的衍射图像,基于该衍射图像获取衍射强度图像;利用预设算法将衍射强度图像转换为相位图像,并基于衍射强度图像获取强度信息,基于相位图像获取相位信息;将强度信息和相位信息结合作为衍射图像的实际初始值;以所述实际初始值替换原相位恢复算法的迭代初始值;基于预设算法将原相位恢复算法优化为新相位算法,基于替换后的实际初始值及新相位算法对衍射样品的衍射图像进行重建改进,获得衍射样品的重建图像。利用该算法解决FresnelCDI的图像重建问题,使用菲涅尔波带片提供的光瞳函数约束图像空间,提高衍射样品的重建效率,减少重建时间。

主权项:1.一种衍射样品的图像恢复方法,其特征在于:包括以下步骤:获取衍射样品的衍射图像,基于该衍射图像获取衍射强度图像;利用预设算法将衍射强度图像转换为相位图像,并基于衍射强度图像获取强度信息,基于相位图像获取相位信息;将强度信息和相位信息结合作为衍射图像的实际初始值;以所述实际初始值替换原相位恢复算法的迭代初始值;基于预设算法将原相位恢复算法优化为新相位算法,基于替换后的实际初始值及新相位算法对衍射样品的衍射图像进行重建改进,获得衍射样品的重建图像。

全文数据:

权利要求:

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