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基于氦质谱检漏仪漏率的信号动态处理方法、设备及介质 

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申请/专利权人:成都睿宝电子科技有限公司

摘要:本发明公开了基于氦质谱检漏仪漏率的信号动态处理方法、设备及介质,涉及离子流信号处理技术领域,本发明基于离子流信号的在各档位的流量上限值对放大器档位进行切换,以保证信号的衔接性,避免突变所带来的干扰;以动态滤波信号、量级滤波参数和增益后的滤波因子进行计算,得到滤波漏率输出信号,该滤波漏率输出信号克服了离子源信号干扰所带来的计算误差的问题。

主权项:1.基于氦质谱检漏仪漏率的信号动态处理方法,其特征在于,包括如下步骤:获取离子流信号,基于所述离子流信号在各档位的上限值对放大器档位进行切换,并计算所述离子流信号的离子流波动程度指标和真空度波动程度指标;根据氦质谱检漏仪当前的检漏模式确定滤波因子,采用所述离子流波动程度指标和所述真空度波动程度指标对所述滤波因子进行增益,利用增益后的滤波因子计算离子流信号的动态滤波信号;根据所述检漏模式对应的校准系数对所述动态滤波信号进行计算,得到漏率信号;计算所述漏率信号的量级,根据所述量级确定量级滤波参数,利用所述量级滤波参数、增益后的滤波因子对所述漏率信号进行计算,得到滤波漏率输出信号。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 成都睿宝电子科技有限公司 基于氦质谱检漏仪漏率的信号动态处理方法、设备及介质

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