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申请/专利权人：株式会社东京精密
摘要：本发明提供能够容易地实施白色干涉显微镜的调整的形状测定装置的调整方法。一种形状测定装置的调整方法，所述形状测定装置将来自光源的光作为测定光与参照光分别向调整用母版与参照面照射，并使用由调整用母版以及参照面分别反射了的测定光以及参照光的合波光对测定对象物的被测定面的形状进行测定，其中，所述形状测定装置的调整方法包括：在对焦位置与干涉位置吻合的调整完毕状态下测定调整用母版，将表示对焦位置与干涉位置的吻合度的吻合度参数作为调整时吻合度参数算出并保存的步骤；以及在进行测定对象物的测定时，测定调整用母版，算出吻合度参数，并将吻合度参数与调整时吻合度参数比较，从而确认吻合度的步骤。
主权项：1.一种形状测定装置的调整方法，所述形状测定装置将来自光源的光作为测定光与参照光分别向调整用母版与参照面照射，并使用由所述调整用母版以及所述参照面分别反射了的所述测定光以及所述参照光的合波光对测定对象物的被测定面的形状进行测定，其中，所述形状测定装置的调整方法包括：在对焦位置与干涉位置吻合的调整完毕状态下测定所述调整用母版，将表示对焦位置与干涉位置的吻合度的吻合度参数作为调整时吻合度参数算出并保存的步骤；以及在进行所述测定对象物的测定时，测定所述调整用母版，算出所述吻合度参数，并将所述吻合度参数与所述调整时吻合度参数比较，从而确认所述吻合度的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社东京精密 形状测定装置的调整方法
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