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申请/专利权人:三星电子株式会社
摘要:提供了图像传感器。所述图像传感器包括:第一导电类型的半导体基底,所述半导体基底包括:第一表面、与第一表面背对的第二表面、像素区域、以及像素隔离结构;以及光电转换区域,在像素区域中,光电转换区域具有第二导电类型的杂质,其中,像素隔离结构被配置为包围光电转换区域,并且其中,像素隔离结构包括:气隙,衬垫绝缘图案,在气隙与所述半导体基底之间,以及覆盖图案,与所述半导体基底的第二表面邻近。
主权项:1.一种图像传感器,包括:第一导电类型的半导体基底,所述半导体基底包括:第一表面、与第一表面背对的第二表面以及像素区域;光电转换区域,在像素区域中,光电转换区域具有第二导电类型的杂质;以及像素隔离结构,在所述半导体基底中,并且被配置为包围光电转换区域,其中,像素隔离结构包括:气隙,衬垫绝缘图案,在气隙与所述半导体基底之间,以及覆盖图案,与所述半导体基底的第二表面邻近。
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