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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司
摘要：本发明提供了一种单晶炉的加料方法及装置，属于半导体制造技术领域。单晶炉的加料装置包括：石英坩埚；多组传感单元，每组传感单元包括超声波探测器和超声波接收器，超声波探测器被配置为按照预设周期发送超声波信号，接收超声波接收器反射的超声波信号，并将接收到的超声波信号发送给数据处理单元；数据处理单元接收超声波探测器的超声波信号，根据超声波信号确定石英坩埚内固体多晶硅的体积；控制单元根据石英坩埚内固体多晶硅的体积生成控制信号，并将控制信号发送给加料单元；加料单元根据控制信号向石英坩埚内投放固体多晶硅。本发明的技术方案能够准确判断投放固体多晶硅的时机，保证拉晶品质。
主权项：1.一种单晶炉的加料装置，其特征在于，包括：石英坩埚，用于容纳固体多晶硅和硅熔液；设置在所述石英坩埚的外侧壁上的多组传感单元，所述多组传感单元沿所述石英坩埚的高度方向依次排布，每组所述传感单元包括超声波探测器和超声波接收器，所述超声波探测器和所述超声波接收器分别位于所述石英坩埚的两侧，所述超声波探测器被配置为按照预设周期发送超声波信号，并接收所述超声波接收器反射回的超声波信号，将接收到的超声波信号发送给数据处理单元；所述数据处理单元，用于接收所述超声波探测器的超声波信号，根据所述超声波探测器接收到的超声波信号确定所述石英坩埚内固体多晶硅的体积；控制单元，用于根据所述石英坩埚内固体多晶硅的体积生成控制信号，并将所述控制信号发送给加料单元；加料单元，用于根据所述控制信号向所述石英坩埚内投放固体多晶硅。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安欣芯材料科技有限公司 单晶炉的加料方法及装置
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