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申请/专利权人：钢研纳克检测技术股份有限公司
摘要：本发明涉及金属材料分析表征技术领域，公开了基于聚焦离子束三维重构表征高温合金中一次γ'相的方法，包括：通过聚焦离子束作用在高温合金样品表面沉积形成区域沉积保护层，在三维重构表征区域的周边刻蚀形成U形凹槽；采用聚焦离子束进行自动连续切片，每切完一层切片，采用扫描电镜对切片的截面进行显微组织结构的图像采集；对采集到的图像进行预处理，输入到基于U‑Net网络的一次γ'相分割模型中，得到连续切片分割后的一次γ'相图像，导入三维重构软件，得到一次γ'相的三维重构结构，进行三维定量统计表征。本发明定量统计表征参量更加丰富，能体现高温合金中显微结构的空间分布，全面反映一次γ'相的真实形态。
主权项：1.一种基于聚焦离子束三维重构表征高温合金中一次γ'相的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，通过聚焦离子束作用在高温合金样品表面选定的三维重构表征区域沉积形成区域沉积保护层；S2，采用聚焦离子束在三维重构表征区域的周边刻蚀形成U形凹槽；S3，对三维重构表征区域，按设定的参数采用聚焦离子束进行自动连续切片，每层切片前进行连续切片定位，识别和校正聚焦离子束的切割位置；S4，采用聚焦离子束每切完一层切片后，采用扫描电镜对切片的截面进行显微组织结构的图像采集，每次图像采集前进行图像采集定位，校正扫描电镜的工作参数；S5，对采集到的连续切片的显微组织结构的图像进行预处理，并输入到预先构建和训练好的基于U-Net网络的一次γ'相分割模型中，得到连续切片分割后的一次γ'相图像；S6，将连续切片分割后的一次γ'相图像导入三维重构软件中，进行图像配准和插值处理，得到一次γ'相的三维重构结构，并基于一次γ'相的三维重构结构进行三维定量统计表征。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 钢研纳克检测技术股份有限公司 基于聚焦离子束三维重构表征高温合金中一次γ'相的方法
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