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一种集成化共焦超分辨透镜及系统 

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申请/专利权人:重庆大学

摘要:本发明涉及一种集成化共焦超分辨透镜及系统,其工作区域为圆环形区域和圆形区域,整个透镜被划分为宽度相同的环带;圆形区域对垂直照明的圆偏振进行聚焦或成像;在环形区域中,在与透镜法线具有夹角θinc的环形准直光束的照明下,奇数编号环带与偶数编号环带分别只能对正交的圆偏振光进行聚焦,且两者焦点重合,并位于通过透镜中心的法线上;奇数编号环带在后焦平面上形成的聚焦光斑的FWHM0.5λNA、第一零点半径小于0.61λNA;奇数编号环带在后焦平面上形成的聚焦光斑的FWHM0.5λNA、第一零点半径小于0.61λNA。本发明能够在光学显微和光学加工中,提高样品的系统的光学分辨率和加工精度。

主权项:1.一种集成化共焦超分辨透镜,其特征在于:集成化共焦超分辨透镜的数值孔径为NA,焦距为f,其工作区域被划分为以透镜中心O为圆心,半径为Rin的圆形区域和外半径为Rout、内半径为Rin的圆环形区域;所述圆形区域为一焦距为f的正透镜,即内透镜,其对垂直于透镜面的准直光束能聚焦于光轴上的焦点位置,将所述圆形区域划分为宽度相同的环带;所述圆环形区域的宽度为Wa=Rout-Rin,为焦距为f的正透镜,即外透镜;将所述圆环形区域划分为宽度相同的环带,其中,奇数编号环带构成奇数环透镜,其对左旋圆偏振光汇聚,偶数编号环带构成偶数环透镜,其对右旋圆偏振光汇聚;或者奇数编号环带对右旋圆偏振光汇聚,偶数编号环带对左旋圆偏振光汇聚;所述奇数环透镜和偶数环透镜的两焦点重合,均位于通过集成化共焦超分辨透镜中心的法线上,且奇数环透镜和偶数环透镜的焦距均为f;当利用波长为λ且与透镜法线的夹角为θinc的环形准直光束对集成化共焦超分辨透镜的圆环形区域进行照明时,在所述集成化共焦超分辨透镜的后焦平面上形成聚焦光场,所述聚焦光场对应的孔径角为θout=atanRoutf、数值孔径为NA=nwsinθout,其中,atan·为反正切函数,sin·为正弦函数,nw为集成化共焦超分辨透镜出射介质的折射率;在奇数环透镜的后焦平面上形成的聚焦光斑的半高全宽FWHM0.5λNA、第一零点半径小于0.61λNA;在偶数环透镜的后焦平面上形成的聚焦光斑的半高全宽FWHM0.5λNA、第一零点半径小于0.61λNA。

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