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申请/专利权人：格科半导体(上海)有限公司
摘要：本发明涉及一种搅拌装置，包括：控制台，用于接收信号和产生控制信号；腔体，所述腔体用于容纳所述研磨剂；搅拌轴，其贯穿所述腔体设置，用于对腔体内的研磨剂进行搅拌；两个动力组件，不同时与所述搅拌轴连接；当连接于所述搅拌轴的所述动力组件故障后，所述控制台检测到故障信号，然后发出控制信号控制该故障动力组件与所述搅拌轴断开，并控制另一个动力组件与所述搅拌轴连接。本发明通过双动力冗余设计，提高了搅拌装置的稳定性和容错率，减少了因电机故障导致的生产中断和晶圆报废的风险；通过自动切换机制，提高了生产自动化水平，降低了企业的运营成本。
主权项：1.一种搅拌装置，其特征在于，包括：控制台，用于接收信号和产生控制信号；腔体，所述腔体用于容纳所述研磨剂；搅拌轴，其贯穿所述腔体设置，用于对腔体内的研磨剂进行搅拌；两个动力组件，不同时与所述搅拌轴连接；当连接于所述搅拌轴的所述动力组件故障后，所述控制台检测到故障信号，然后发出控制信号控制该故障动力组件与所述搅拌轴断开，并控制另一个动力组件与所述搅拌轴连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 格科半导体(上海)有限公司 一种搅拌装置
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