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申请/专利权人：上海近观科技有限责任公司

摘要：本发明提供一种基于CMOS图像传感的光波导多微流道检测系统，包括：微流体芯片、光谱收集装置和分析装置；微流体芯片包括光波导和微流道，光波导用以将光沿水平方向导入微流道内；光谱收集装置包括CMOS图像传感层：依次由下而上设置的下包层、波导层、上包层和流道盖板；CMOS图像传感层位于下包层下方；微流道暴露出CMOS图像传感层；微流道宽度为10‑100μm。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。

主权项：1.一种基于CMOS图像传感的光波导多微流道检测系统，包括：微流体芯片、光谱收集装置和分析装置；其特征在于，所述微流体芯片包括微流体组，所述微流体组包括第一数量的微流体；所述微流体包括光波导组和微流道，所述光波导组包括第二数量的光波导，所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内；所述光谱收集装置包括CMOS图像传感层，所述CMOS图像传感层用于收集所述微流道内的光信号，处理所述光信号产生待分析信号并向所述分析装置传输所述待分析信号，所述分析装置分析所述待分析信号形成光谱或图像；所述微流体芯片还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层、上包层和微流道盖板，所述波导层是在25-150℃沉积温度下形成的氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光波导；所述CMOS图像传感层位于所述下包层下方；所述微流道由上而下贯穿所述上包层、所述波导层和所述下包层以暴露出所述CMOS图像传感层；所述微流道盖板覆盖所述微流道上开口，所述微流道盖板包括用以向所述微流道注入含待检测生物分子溶液的注液口；所述下包层是厚度为15~30µm高分子聚合材料，所述上包层是厚度为15~30µm的高分子聚合材料，所述微流道宽度为10-100µm；所述光波导组包括第二数量相互平行的所述光波导，以将光导入所述微流道，所述光波导的宽度为300-600nm；还包括导光结构，所述导光结构包括干路导光和导光组，所述导光组从所述干路导光中引出，所述导光组与所述光波导组光连接；所述导光组采用分光结构从所述干路导光中引出；所述干路导光包括第一导光，所述导光组包括第二导光，所述第一导光与所述第二导光通过交叉跨层结构交叉；所述交叉跨层结构包括第一导光重叠区和第二导光重叠区；所述第一导光在交叉处断开，并在断开相对的两端形成第一锐角导光端面和第二锐角导光端面；所述第二导光在交叉处形成分别与所述第一锐角导光端面和所述第二锐角导光端面相匹配的第一锐角导光引面和第二锐角导光引面；所述第一导光重叠区包括所述第一锐角导光端面和所述第一锐角导光引面，所述第二导光重叠区包括所述第二锐角导光端面和所述第二锐角导光引面。

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