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高产能的晶粒接合装置 

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申请/专利权人:均华精密工业股份有限公司

摘要:本发明提供一种高产能的晶粒接合装置,包含:供应取放模块用以将供应模块上至少一晶粒运送至转承台;旋转模块包括具有复数粘晶取放单元的复数粘晶取放模块,粘晶取放单元以一中心为圆心呈放射状分布且与中心的距离相等,粘晶取放单元以中心为圆心旋转运动,相邻二粘晶取放模块间以中心为圆心具有一第一夹角,每一粘晶取放模块的相邻二粘晶取放单元间以中心为圆心具有一第二夹角,第一夹角与第二夹角相同或不相同;沾胶模块供一粘晶取放模块的复数晶粒同时沾胶;由定位视觉撷取模块对已沾胶的复数晶粒同时定位。

主权项:1.一种高产能的晶粒接合装置,其特征在于,包含:一旋转模块,其包括复数粘晶取放模块,每一该粘晶取放模块具有复数粘晶取放单元用于拾取并运送晶粒,该复数粘晶取放单元以一中心为圆心呈放射状分布且每一该粘晶取放单元与该中心的距离相等,该复数粘晶取放单元以该中心为圆心旋转,相邻二该粘晶取放模块之间以该中心为圆心具有一第一夹角,每一该粘晶取放模块的相邻二该粘晶取放单元之间以该中心为圆心具有一第二夹角,该第一夹角与该第二夹角相同或不同;一沾胶模块,设置于该旋转模块下方,该沾胶模块具有复数沾胶单元,该复数沾胶单元分离设置,该旋转模块以该中心为圆心旋转后,任一该粘晶取放模块的各该粘晶取放单元的投影位置对应于该复数沾胶单元的位置,用以提供粘剂以供任一该粘晶取放模块的复数该粘晶取放单元所拾取的复数该晶粒同时沾胶;以及一定位视觉撷取模块,其设置于该沾胶膜组的一侧,该定位视觉撷取模块具有二定位视觉撷取单元,该旋转模块以该中心为圆心旋转后,任一该粘晶取放模块的各该粘晶取放单元的位置与该二定位视觉撷取单元的位置相对应,其中已沾胶的复数该晶粒移动至对应于该二定位视觉撷取单元的位置时,该二定位视觉撷取单元分别对相对应的该晶粒的不同位置进行定位。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 均华精密工业股份有限公司 高产能的晶粒接合装置

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