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申请/专利权人：上海精测半导体技术有限公司
摘要：本发明提供了一种压电摆台及半导体设备，该压电摆台包括：载台、轴承以及压电促动模块，载台与轴承连接，压电促动模块被配置为沿载台的转动轴线的周向切线方向上产生位移，使其沿周向切线方向在钳止和分离的两状态之间切换，以钳止或转动载台；当从钳止状切换为分离状态时，载台形成转动，通过至少两个压电促动模块对载台交替执行转动与钳止，以将载台转动至设定角度。本发明提供了一种压电摆台及半导体设备，可提高压电摆台的转动速度和可重复性，有效地避免了当转动载台时压电促动模块与载台或轴承之间出现持续的滑动摩擦，并有效地抑制了颗粒的产生。
主权项：1.一种压电摆台，其特征在于，包括：载台、轴承以及压电促动模块，所述载台与轴承连接，所述压电促动模块被配置为沿载台的转动轴线的周向切线方向上产生位移，使其沿周向切线方向在与钳止和分离的两状态之间切换；当从钳止状态切换为分离状态时，所述载台形成转动，通过至少两个所述压电促动模块对所述载台交替执行转动与钳止，以将载台转动至设定角度；所述载台和或轴承的外圈固定有陶瓷环，所述压电单元带动促动陶瓷沿所述周向切线方向产生位移以与陶瓷环接触或分离，实现钳止或转动载台，或实现钳止或转动轴承。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海精测半导体技术有限公司 一种压电摆台及半导体设备
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