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申请/专利权人：江阴泓潮科技有限公司
摘要：本发明公开了一种石英坩埚自动清洗系统，包括沿输送方向依次布置的进料工位、若干清洗室和出料工位；还包括设置于进料工位清洗室和出料工位上方的吊装机构；吊装机构包括固定机架和吊装架，吊装架通过第一横移机构和第一升降机构与吊装架连接；吊装架沿输送方向依次间隔设置有至少两个托架吊接单元；第一横移机构配置为驱动吊装架沿输送方向往复横移；第一升降机构配置为驱动吊装架沿铅垂方向升降。该石英坩埚自动清洗系统通过吊装架同时吊起两个以上的坩埚托架，实现载有坩埚的托架在进料工位、清洗室和出料工位之间的快速转移，清洗系统自动化程度和坩埚清洗效率高。本发明还公开了一种石英坩埚自动清洗方法。
主权项：1.一种石英坩埚自动清洗系统，包括沿输送方向依次布置的进料工位、若干清洗室和出料工位；其特征在于：还包括设置于所述进料工位、清洗室和出料工位上方的吊装机构；所述吊装机构包括固定机架和吊装架，所述吊装架与第一横移机构和第一升降机构连接；所述吊装架沿输送方向依次间隔设置有至少两个托架吊接单元；所述第一横移机构配置为驱动所述吊装架沿输送方向往复横移；所述第一升降机构配置为驱动所述吊装架沿铅垂方向升降；至少一个所述清洗室为储液清洗槽；所述储液清洗槽的槽壁设置有挡板；所述挡板配置为挡设于坩埚锅口的至少底端；还包括进液管，所述进液管配置为向坩埚内进液；所述进液管通过进液泵与所述储液清洗槽或者所述储液清洗槽的供液机构连通；所述挡板与第二升降机构以及第二横移机构连接；所述第二升降机构配置为驱动所述挡板随坩埚同步下降；所述第二横移机构配置为驱动所述挡板盖接或者脱离坩埚托架的升降轨迹。
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权利要求：
百度查询： 江阴泓潮科技有限公司 一种石英坩埚自动清洗系统及清洗方法
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