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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：提供一种利用药液适当地剥离固贴在旋转的基板的表面的对象物的技术。基板处理装置1具有处理单元2。处理单元2一边使基板W以水平姿势围绕旋转轴线A1旋转，一边从SPM喷嘴18供给药液。喷嘴移动单元20使SPM喷嘴18在第一方向D1上移动。相机153将基板W的上表面包含于拍摄对象区域。图像处理部3B在由相机153所获得的拍摄图像PI1中检测剥离了抗蚀剂的剥离区域R1与固贴有抗蚀剂的未剥离区域R2之间的边界B1。喷嘴移动控制装置3D控制喷嘴移动单元20，从而根据上述边界B1的位置使SPM喷嘴18在第一方向D1上移动。
主权项：1.一种基板处理装置，利用药液剥离固贴在基板的表面的对象物，其中，具有：基板保持件，将基板保持为水平姿势；旋转马达，使由基板保持件保持的基板，围绕通过所述基板的中央部的铅垂方向的旋转轴线旋转；喷嘴，具有喷出药液的喷出口；移动马达，使所述喷嘴在与所述旋转轴线正交的第一方向上移动；相机，将所述基板的表面包含于拍摄对象区域；边界检测部，在由所述相机获得的拍摄图像中，检测所述基板的所述表面中的剥离了对象物的剥离区域与固贴有所述对象物的未剥离区域之间的边界；以及控制部，与所述移动马达连接，根据由所述边界检测部检测到的所述边界的位置使所述喷嘴在所述第一方向上移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法
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