买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：英福康有限公司

摘要：一种用于确定真空系统中的压力的方法，其中所述方法包括以下步骤：a）在样品室中产生（101）等离子体，所述样品室与所述真空系统流体动态连接并且与第一电极和第二电极电接触；b）测量（102）在所述第一电极和所述第二电极之间流过所述等离子体的电流的电流强度；c）测量（103）从所述等离子体发射的第一波长范围的电磁辐射的第一辐射强度，其中所述第一波长范围包含第一化学元素的第一等离子体物质的至少一个第一发射线；d）测量（104）从所述等离子体发射的第二波长范围的电磁辐射的第二辐射强度，其中所述第二波长范围包含所述第一化学元素的第一等离子体物质的第二发射线或所述第一化学元素的第二等离子体物质的第二发射线，以及其中所述第二发射线位于所述第一波长范围外；以及e）根据所测量的电流强度、所测量的第一辐射强度和所测量的第二辐射强度确定（105）所述真空系统中的压力。

主权项：1.一种用于确定真空系统中的压力的方法，其中所述方法包括以下步骤：a在样品室20中产生等离子体，所述样品室与所述真空系统流体动态连接，并且其中所述等离子体与第一电极和第二电极电接触；b测量在所述第一电极和所述第二电极之间流过所述等离子体的电流的电流强度；c测量从所述等离子体发射的第一波长范围的电磁辐射的第一辐射强度I_1，其中所述第一波长范围包含第一化学元素的第一等离子体物质的至少一个第一发射线；d测量从所述等离子体发射的第二波长范围的电磁辐射的第二辐射强度I_2，其中所述第二波长范围包含所述第一化学元素的第一等离子体物质的第二发射线或所述第一化学元素的第二等离子体物质的第二发射线，以及其中所述第二发射线位于所述第一波长范围外；以及e根据所测量的电流强度、所测量的第一辐射强度I_1和所测量的第二辐射强度I_2确定所述真空系统中的压力p，其中在基于所测量的第一辐射强度和所测量的第二辐射强度确定所述真空系统中的压力的步骤e中确定所述压力的估计值p0，其中压力-电流强度校准曲线的定义范围被限制于包含所述估计值并且其中所述压力-电流强度校准曲线单调的压力范围，以及其中基于受限的定义范围中的压力-电流强度校准曲线并且基于所测量的电流强度，确定所述真空系统中的压力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 英福康有限公司 确定压力的方法和压力传感器