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申请/专利权人：通快激光有限责任公司

摘要：本发明涉及一种用于组合多个相干激光射束3.1，...，3.N的设备5，所述设备包括：分离装置4，所述分离装置用于将输入激光射束9分离成多个相干激光射束3.1，...，3.N，多个相位调整装置6.1，...，6.N，所述相位调整装置用于调整所述相干激光射束3.1，...，3.N中的一个相干激光射束的相应的相位以及射束组合装置10，所述射束组合装置用于将所述相干激光射束3.1，...，3.N组合成至少一个组合激光射束12，12a，b，所述相干激光射束从网格布置16的多个网格位置8.1，...，8.N出发。所述射束组合装置10具有微透镜布置11，所述微透镜布置具有恰好一个微透镜阵列17，用以形成所述至少一个组合激光射束12。本发明还涉及一种激光系统1，所述激光系统包括：用于产生种子激光射束2a的种子激光源2以及如上所述的设备5，以及涉及一种相关的用于组合多个相干激光射束3.1，...，3.N的方法。

主权项：1.一种用于组合多个相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M的设备5，所述设备包括：分离装置4，所述分离装置用于将输入激光射束9分离成多个相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M，多个相位调整装置6.1，...，6.N，所述多个相位调整装置用于调整所述相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M中的一个相干激光射束的相应的相位以及射束组合装置10，所述射束组合装置用于将所述相干激光射束3.1，...，3.N；3.1.1，...，3.N.M组合成至少一个组合激光射束12，12a，b，所述相干激光射束从网格布置16的多个网格位置8.1，...，8.N；8.1.1，...，8.N.M出发，其特征在于，所述射束组合装置10具有微透镜布置11，所述微透镜布置具有恰好一个微透镜阵列17a，b，用以形成所述至少一个组合激光射束12，12a，b，其中，所述相干激光射束3.1，...，3.N从多个网格位置8.1，...，8.N出发，所述多个网格位置沿着第一方向X布置，其中，所述网格位置8.1，...，8.N，8.1.1，...，8.N.M布置在所述微透镜阵列17前方，所述网格位置与所述微透镜阵列的间距为所述微透镜阵列17的焦距fML，并且其中，所述网格位置8.1，...，8.N彼此间具有间距δx，所述间距由下式得出：δx＝px，其中，px表示所述微透镜阵列17的微透镜20，20a在所述第一方向X上的网格间距，其中，所述网格位置8.1，...，8.N上的相干激光射束3.1，...，3.N具有射束直径2ωfMLx，所述射束直径由下式得出：2ωfMLx＝λLfMLpx，其中，λL表示激光波长。

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权利要求：

百度查询： 通快激光有限责任公司 用于组合相干激光射束的设备、激光系统和方法