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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：用于电镀密封件检查的多个系统可包括一模块，经构造以支撑用于检查的一密封件。此模块可包括一组支撑件，经定位以接触密封件的一内边。此模块可经构造以绕着一中心轴旋转密封件。此系统也可包括位于此模块上的一检测器。检测器可经定位以扫描密封件的一外表面。
主权项：1.一种电镀密封件检查系统，包括：一模块，经构造以支撑用于检查的一密封件，该模块包括一组支撑件，经定位以接触该密封件的一内边，其中该模块经构造以绕着一中心轴旋转该密封件；一检测器，位于该模块上，其中该检测器经定位以扫描该密封件的一外表面，并且检测器包括激光和接收器；以及处理器，通信耦接于该检测器，和经构造以接收来自该检测器的一反射信号的一取样，其中该处理器经构造以产生该反射信号的该取样的一平滑化信号，并且该处理器进一步经构造以辨识出与该平滑化信号的斜率高出沉积于该密封件上的残留材料的一阈值的位置相对应的多个反射信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 电镀密封件检查系统及侦测材料电镀的方法
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