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申请/专利权人：爱思开海力士有限公司
摘要：探针卡和具有探针卡的测试设备。一种测试设备包括探针卡和测试仪。探针卡具有分别与晶圆的晶片相对应的多个区域。探针卡包括具有带有透镜的第一区域和不具有透镜的第二区域的托盘。测试仪被配置为生成驱动控制信号，驱动控制信号用于使托盘在第一方向或第二方向上移动，以使第一区域或第二区域位于面对晶片的位置。
主权项：1.一种测试设备，该测试设备包括：探针卡，所述探针卡包括具有与晶圆的多个晶片相对应的多个区域的托盘，所述多个区域包括具有透镜的第一区域和不具有透镜的第二区域；以及测试仪，所述测试仪被配置为生成驱动控制信号，所述驱动控制信号用于使所述托盘在第一方向或第二方向上移动以将所述第一区域或所述第二区域位于面对所述多个晶片当中的要被测试的目标晶片的位置，其中，由照明器提供的光通过具有所述透镜的所述第一区域和不具有所述透镜的所述第二区域被照射到所述晶片。
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百度查询： 爱思开海力士有限公司 探针卡和具有探针卡的测试设备
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