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用于调节处理腔中电浆曲线的装置及其控制方法 

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申请/专利权人:拓荆科技股份有限公司

摘要:本发明是关于一种用于调节电浆曲线的装置,包含一金属调节环,其具有一内侧面、一斜面及一顶面,所述斜面自该顶面向所述内侧面向下延伸,所述斜面与所述顶面定义一夹角,所述夹角介于150度至120度之间。

主权项:1.一种用于调节电浆曲线的装置,其特征在于,包含:一支撑盘,具有一承载区域及围绕所述承载区的一周围区;及一金属调节环,埋设于且延伸于所述支撑盘的周围区,所述金属调节环具有面向所述承载区的一内侧面、一斜面及一顶面,所述斜面自所述顶面向所述内侧面向下延伸,所述斜面与所述顶面定义一夹角,所述夹角介于150度至120度之间;一垫环,位于所述金属调节环与所述支撑盘之间,用于防止所述支撑盘和所述金属调节环的接触,所述垫环具有一缺口,以将所述金属调节环的一下表面暴露出来,作为嵌入所述支撑盘中一导线的接触部;其中,所述支撑盘具有一连接器组件,所述连接器组件提供一导线与所述金属调节环电性连接,使所述金属调节环经由所述导线接收一直流电压;所述连接器组件包含:一接线套,至少部分嵌入所述支撑盘并包覆所述导线;一固定帽,将接线套固持于所述支撑盘中;及一保护罩,至少部分延伸于所述支撑盘外并包覆所述接线套的至少一部分;其中,所述连接器组件还与用来升降所述导线的一运动组件连接,所述运动组件与一马达机械连接,使所述马达与所述运动组件同步连动。

全文数据:

权利要求:

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