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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司

摘要：本发明提供一种检测铁电信号的方法和压电式力显微镜设备。方法包含以下步骤。产生输入波形信号，其中输入波形信号包含具有不同电压电平的多个读取电压步骤。将输入波形信号施加到铁电膜。原子力显微镜探针对铁电膜的表面进行扫描以测量铁电膜的表面构形。在将输入波形信号施加到铁电膜的像素时检测原子力显微镜探针的偏转，以产生偏转信号。产生基于偏转信号的像素的频谱数据。分析像素的频谱数据以确定像素的频谱数据是铁电信号还是非铁电信号。

主权项：1.一种适用于压电式力显微镜设备的检测来自铁电膜的铁电信号的方法，包括：产生输入波形信号，其中所述输入波形信号包含具有不同电压电平的多个读取电压步骤；将所述输入波形信号施加到所述铁电膜；通过所述压电式力显微镜设备的原子力显微镜探针来对所述铁电膜的表面进行扫描以测量所述铁电膜的表面构形；在将所述输入波形信号施加到所述铁电膜的像素时检测所述原子力显微镜探针的偏转，以产生偏转信号；基于所述偏转信号来产生所述像素的频谱数据，且基于所述偏转信号来捕获所述原子力显微镜探针的探针位移，其中所述像素的所述频谱数据包括所述原子力显微镜探针的所述探针位移；以及分析所述像素的所述频谱数据以确定所述像素的所述频谱数据是铁电信号还是非铁电信号，其中所述频谱数据包括对应于所述输入波形信号的第一读取电压步骤、第二读取电压步骤以及第三读取电压步骤的第一探针位移、第二探针位移以及第三探针位移，其中所述第二读取电压步骤的电压电平小于所述第一读取电压步骤的电压电平且大于所述第三读取电压步骤的电压电平，以及分析所述像素的所述频谱数据以确定所述像素的所述频谱数据是所述铁电信号还是所述非铁电信号包括：确定所述第二探针位移与所述第一探针位移之间的差值和所述第二探针位移与所述第三探针位移之间的差值是否小于阈值，响应于确定所述第二探针位移与所述第一探针位移之间的所述差值和所述第二探针位移与所述第三探针位移之间的所述差值小于所述阈值而确定所述像素的所述频谱数据是所述非铁电信号，以及响应于确定所述第二探针位移与所述第一探针位移之间的所述差值和所述第二探针位移与所述第三探针位移之间的所述差值不小于所述阈值而确定所述像素的所述频谱数据是所述铁电信号。

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