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申请/专利权人：韩国捷太格特热处理设备有限公司
摘要：本发明公开一种基板热处理炉。本发明可包括：热处理炉，其前侧具有至少一个炉门，且后侧具有至少一个遮挡器，从而将基板放入腔室里的预置空间或从腔室搬出热处理工序结束的基板；轴承轴心，其沿着所述炉门的两侧水平方向突出；上下移动引导件，其具有以轴结合形式诱导所述轴承轴心的上下移动轨道，并在所述炉门的两侧沿垂直方向设置用以引导所述炉门上下移动；以及炉门操作机构部，其具有与所述炉门的侧面结合的可动汽缸，从而使所述炉门沿所述上下移动轨道上下移动地开关。
主权项：1.一种基板热处理炉，所述基板热处理炉的前侧具有至少一个炉门，且后侧具有至少一个遮挡器，从而将基板放入腔室内的预置空间或从腔室搬出热处理工序结束的基板，其中，所述基板热处理炉包括：轴承轴心，其沿着所述炉门的两侧水平方向突出；上下移动引导件，其具有以轴结合形式诱导所述轴承轴心的上下移动轨道，并在所述炉门的两侧沿垂直方向设置用以引导所述炉门上下移动；以及炉门操作机构部，其具有与所述炉门的侧面结合的可动汽缸，从而使所述炉门沿所述上下移动轨道上下移动地开关，当打开炉门时，使所述可动汽缸操作以使所述可动汽缸的可动杆向上推所述炉门，从所述炉门突出的所述轴承轴心沿着所述上下移动引导件的上下移动轨道向上移动，当所述可动汽缸停止操作时，所述炉门在当前位置保持打开状态，当关闭炉门时，使所述可动汽缸操作以使所述可动汽缸的可动杆朝原位置方向返回，从而向原位置方向拉拽所述炉门，从所述炉门突出的所述轴承轴心沿所述上下移动引导件的上下移动轨道向下移动，当所述可动汽缸停止操作时，所述炉门在当前位置保持关闭状态。
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权利要求：
百度查询： 韩国捷太格特热处理设备有限公司 基板热处理炉
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