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申请/专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司

摘要：本公开提供了一种工件吸头组件、工件拾取装置及半导体器件封装设备，属于应用于半导体元件的刷胶机领域，工件吸头组件包括：吸头设有吸气嘴和抽气孔，吸气嘴和抽气孔连通；第一促动器与吸头连接，第一促动器配置为调节吸头在第一方向上的位移；第二促动器与吸头连接，第二促动器配置为调节吸头在第二方向上的位移；第一方向和第二方向大致垂直，吸头工作时，第一方向和第二方向均为水平方向。本公开提供的工件吸头组件通过第一促动器和第二促动器在水平面上的第一方向和第二方向对拾取位置进行微调，完了准确的拾取。同样在放置过程中，也可进行微调，保证了键合导片安装位置的准确性，同时提高了半导体器件的成品率，大幅度降低了生产成本。

主权项：1.一种工件吸头组件，用于工件拾取装置，其特征在于，包括：吸头，所述吸头设有吸气嘴和抽气孔，所述吸气嘴和所述抽气孔连通；第一促动器，所述第一促动器与所述吸头连接，所述第一促动器配置为调节所述吸头在第一方向上的位移；第二促动器，所述第二促动器与所述吸头连接，所述第二促动器配置为调节所述吸头在第二方向上的位移；其中，所述第一促动器包括：第一侧壁，所述第一侧壁包括第一活动壁和第一固定壁，所述第一活动壁仅有在垂直于第三方向上的两边与两端的所述第一固定壁铰接；第二侧壁，所述第二侧壁包括第二活动壁和第二固定壁，所述第二活动壁仅有在垂直于所述第三方向上的两边与两端的所述第二固定壁铰接；第一伸缩单元，所述第一伸缩单元为伸缩杆或板状结构；在伸缩方向上，所述第一伸缩单元的一端与所述第一活动壁的内壁铰接，所述第一伸缩单元的另一端与所述第二固定壁的内壁铰接；其中，所述第一伸缩单元在所述第一方向上伸缩；所述第二促动器包括：第三侧壁，所述第三侧壁包括第三活动壁和第三固定壁，所述第三活动壁仅有在垂直于所述第三方向上的两边与两端的所述第三固定壁铰接；第四侧壁，所述第四侧壁包括第四活动壁和第四固定壁，所述第四活动壁仅有在垂直于所述第三方向上的两边与两端的所述第四固定壁铰接；第二伸缩单元，所述第二伸缩单元为伸缩杆或板状结构；在伸缩方向上，所述第二伸缩单元的一端与所述第三活动壁的内壁铰接，所述第二伸缩单元的另一端与所述第二固定壁的内壁铰接，其中，所述第二伸缩单元在所述第二方向上伸缩；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直；所述吸头工作时，所述第一方向和所述第二方向均为水平方向。

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百度查询： 长春光华微电子设备工程中心有限公司 工件吸头组件、工件拾取装置及半导体器件封装设备