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申请/专利权人：苏州赛森电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，涉及硅片生产设备技术领域，包括：基座、支撑座、传送辊、驱动装置、传送带、载片台、滑座、矫正机构、导向轮。通过载片台的触发板推动矫正机构的被动部方式，使直径小于转柱的第一齿轮在转柱上的传动齿下带动旋转根据机械传动系统中传动比原则，相当于小齿轮的第一齿轮旋转角度会大于相当于大齿轮的转柱旋转角度，导向轮在与第一齿轮相连的转动部带动下沿硅片弧形端面进行由前向后的弧形方向移动，实现了硅片前后及左右位置的矫正。此外，第二齿轮在转动部的转动下，其沿连接齿进行旋转，从而带动导向轮旋转，使得导向轮与硅片的静摩擦变为动态摩擦，大大降低了导向轮对硅片的磨损伤害。

主权项：1.一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，包括：基座；支撑座，所述支撑座安装在所述基座上的左右两侧；传送辊，所述传送辊可旋转安装在所述支撑座上；驱动装置，所述驱动装置安装在所述支撑座上，所述驱动装置动力连接所述传送辊；传送带，所述传送带至少为两条，所述传送带沿前后方向间隔设置在传送辊上；载片台，所述载片台设置在两条所述传送带上，所述载片台具有：触发板，所述触发板向下延伸穿过间隔设置的所述传送带的空隙处；滑座，所述滑座安装在所述基座上，所述滑座上具有：滑槽，所述触发板滑动连接所述滑槽；矫正机构，所述矫正机构设置在所述滑座两侧，所述矫正机构为下凹结构，该下凹结构的边缘为弧形，所述矫正机构包括：连接齿，所述连接齿分布在所述矫正机构的所述弧形位置上；固定座；转柱，所述转柱可旋转连接在所述固定座上，所述转柱上具有：传动齿，所述传动齿分布在所述转柱上；被动部，所述被动部固定连接所述转柱，所述被动部位于滑槽上；第一齿轮，所述第一齿轮的直径小于所述转柱的直径，所述第一齿轮可旋转连接在所述固定座上；转动部，所述转动部的一端连接所述第一齿轮；支撑杆，所述支撑杆可旋转连接所述转动部的另一端，所述支撑杆穿过所述转动部；第二齿轮，所述第二齿轮连接所述支撑杆的下端，所述第二齿轮啮合所述连接齿；导向轮，所述导向轮连接所述支撑杆的上端，所述导向轮位于所述载片台两侧；所述导向轮包括：第一主体；第二主体，所述第一主体与所述第二主体伸缩连接；所述导向轮还包括：弹性圈，所述弹性圈包裹所述第一主体的下端与所述第二主体的上端；稳定板，所述弹性圈的内侧设有稳定板，所述稳定板间隔分布在所述弹性圈内表面；第一推杆，所述第一推杆的一端以倾斜的方式与所述第一主体活动连接；第二推杆，所述第二推杆的一端以倾斜的方式与所述第二主体活动连接，所述第一推杆的另一端与所述第二推杆的另一端相活动连接，该活动连接的所述第一推杆与所述第二推杆抵住所述稳定板；所述第二主体内具有升降腔，所述升降腔左右壁面上设有凸起且间隔设置的阻挡块，所述导向轮还包括：锁杆，所述锁杆与所述第一主体可旋转连接，所述锁杆贯穿所述第一主体，伸入至所述升降腔中，所述锁杆两侧具有凸起部分，该凸起部分嵌入所述第一主体上，限制所述锁杆的自由上下移动，所述锁杆两侧设有对接块，该对接块用于卡合在所述阻挡块之间。

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