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申请/专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司

摘要：本发明涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种用于微小零件的专用型阴极平台，解决了靶材厚度减小后，使得对柔性基材表面的镀膜率降低，从而造成靶材浪费的问题，其包括底座，所述底座的顶端安装有中部板，中部板的两侧对称安装有阴极体，阴极体的底端等距安装于绝缘支架，阴极体的顶端开设有环形槽；本发明，在工作中，通过设置的齿条移动后，带动转块转动，而转块两端的螺槽内部的螺杆内部开设有限位槽，限位板插接于限位槽内部，使得在转块转动后，带动螺杆横向移动，继而推动两侧的顶块顺着弧槽向上移动，从而将磁靴顶起，从而使得磁靴在靶材处的磁场增大，从而使得靶材对柔性基片的镀膜能力提高，使得靶材表面溅射距离增加。

主权项：1.一种用于微小零件的专用型阴极平台，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶端安装有中部板（2），中部板（2）的两侧对称安装有阴极体（3），阴极体（3）的底端等距安装有绝缘支架（4），阴极体（3）的顶端开设有环形槽（5），环形槽（5）的内部安装有磁靴（6），磁靴（6）的内部安装有磁铁，环形槽（5）的顶端安装有第一压板（7），第一压板（7）的顶端安装有第二压板（8），阴极体（3）的内部安装有调距机构（9）；所述调距机构（9）包括横向调节组件（901）和纵向调节组件（902），其中横向调节组件（901）包括安装于底座（1）顶端的电机（9011），电机（9011）的输出轴顶端安装有转板（9012），转板（9012）的顶端安装有第一固定杆（9013），第一固定杆（9013）的外侧转动连接有转杆（9014），转杆（9014）的一端转动连接有第二固定杆（9015），第二固定杆（9015）的底端安装有连接杆（9016），连接杆（9016）的一侧对称安装有齿条（9017），齿条（9017）插接于齿条槽（9018）内部，齿条槽（9018）开设于阴极体（3）的内部；所述纵向调节组件（902）包括等距开设于阴极体（3）内部的弧槽（9021），纵向调节组件（902）的内顶壁对称安装有固定环（9023），固定环（9023）的内部安装转块（9022），转块（9022）的外壁等角度开设有齿槽（9024），转块（9022）的两侧对称开设有螺槽（9025），螺槽（9025）的内部安装有螺杆（9026），螺杆（9026）的内部开设有限位槽（9027），限位槽（9027）的内部插接有限位板（9028），螺杆（9026）的一侧安装有顶头（9029），顶头（9029）的一侧设有顶块（90210），顶块（90210）对称安装于弧槽（9021）内部，其中一个顶块（90210）的一侧安装有供气调节机构（10）；所述齿条槽（9018）开设于齿槽（9024）下方，且齿条（9017）的顶端与齿槽（9024）啮合连接；所述弧槽（9021）呈半圆环状，且弧槽（9021）的顶端贯穿至环形槽（5）内部，顶块（90210）与弧槽（9021）滑动连接，顶块（90210）底端开设有斜面。

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