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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及熔融石英玻璃抛光技术领域，尤其涉及一种熔融石英玻璃抛光用抛光液及其制备方法和应用。抛光液按质量分数计包括如下组分：氧化铈粉末2~10%、分散剂2~5%、粘度调节剂3~5%、表面活性剂0.06~1.2%、pH调节剂0.04~1%、防腐剂0.05~2%，余量为水；所述氧化铈粉末的粒径为30~1000nm。优点在于：抛光液分散效果稳定，抛光液制备方法简单、成本低、无污染；实现熔融石英玻璃的超光滑表面抛光过程，实现皮米量级表面粗糙度且加工效率高。
主权项：1.一种熔融石英玻璃抛光用抛光液在抛光熔融石英玻璃方面的应用，其特征在于：所述熔融石英玻璃抛光用抛光液按质量分数计包括如下组分：氧化铈粉末3%、分散剂3.5%、粘度调节剂4.5%、表面活性剂0.7%、pH调节剂0.05%、防腐剂0.8%，余量为水；所述氧化铈粉末的粒径为100nm；所述粘度调节剂为乙二醇和甘油，乙二醇和甘油的体积比为2：1；所述防腐剂为苯并三氮唑；所述分散剂为ACUMER™9950分散剂和聚乙二醇；所述表面活性剂为月桂醇聚醚硫酸酯钠；所述pH调节剂为乙二胺和乙二醇胺；所述抛光熔融石英玻璃的方法包括：采用沥青作为抛光磨盘，将所述抛光磨盘置于熔融石英玻璃上方；在所述熔融石英玻璃的表面旋涂熔融石英玻璃抛光用抛光液，再用所述抛光磨盘以光栅轨迹对所述熔融石英玻璃进行抛光，抛光磨盘的刻槽形状为米字形状；所述抛光的条件为：抛光压力为10psi、转速为100rpm、抛光时间为1h；所述沥青的型号为CP系列沥青，牌号为CP73。
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