龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明公开了一种三轴集成式熔融石英微机电陀螺仪及其制备方法，该三轴集成式熔融石英微机电陀螺仪包括基体，所述基体上具有若干表面；所述基体上至少四个表面分别设有角速率敏感结构，且任意两个所述角速率敏感结构所在的表面互不平行；所述角速率敏感结构基于科里奥利效应和电磁感应原理敏感角速率。本发明应用于微机电系统惯性传感器设计和加工技术领域，利用熔融石英具有极小的热弹性阻尼以及较低的热膨胀系数的特性，在单个熔融石英基体表面制作四个及以上角速率敏感结构，并采用电磁驱动和电磁检测方案，从而大幅提升三轴集成式微机电陀螺的集成度、性能精度和环境适应性。
主权项：1.一种三轴集成式熔融石英微机电陀螺仪，其特征在于，包括基体，所述基体上具有若干表面；所述基体上至少四个表面分别设有角速率敏感结构，且任意两个所述角速率敏感结构所在的表面互不平行；所述角速率敏感结构包括环形谐振器、永磁体与两个磁导向器；所述环形谐振器包括谐振环、支撑梁和锚点区，所述基体上对应所述角速率敏感结构的表面设有第一凹槽，所述第一凹槽的槽底设有第二凹槽；所述谐振环设在环形谐振器的中央且通过所述支撑梁与所述锚点区连接，所述锚点区固定设在所述基体的对应表面上，所述谐振环、所述支撑梁在所述第一凹槽上处于悬空状态；所述谐振环的表面设有若干段相互独立的导线，所述导线的两端通过所述支撑梁引出到所述锚点区形成电极，用于所述角速率敏感结构的驱动和检测；所述谐振环套设在所述永磁体上，其中一个所述磁导向器覆盖在所述永磁体的一端且嵌入所述第二凹槽，另一个所述磁导向器覆盖在所述永磁体的另一端且位于所述基体上对应表面的上方；所述角速率敏感结构的数量为四个以上，以形成冗余配置；所述基体为棱台状结构，且所述基体的侧面与底面间的夹角为锐角；所述角速率敏感结构设在所述基体的侧面和或顶面上，以便于所述三轴集成式熔融石英微机电陀螺仪的引线和封装。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种三轴集成式熔融石英微机电陀螺仪及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号