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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：基板处理装置，其通过在包含一种以上的药液及纯水的处理液中浸渍基板从而对该基板进行规定的处理，所述基板处理装置具备：处理槽，其贮留有用于对基板进行规定的处理的处理液；处理液更换部，当处理槽中的处理液的使用期到期时，对处理液进行更换；检测部，其对处理液中的纯水或其他的规定成分的浓度进行检测；浓度控制部，其在使用期到期之前的期间，将浓度控制在适于规定的处理的浓度范围内；和延期部，其将利用处理液更换部进行的处理液的更换延期至规定的处理的开始时。此外，在通过延期部而处理液的更换被延期的期间，浓度控制部也将浓度控制在适于规定的处理的浓度范围内。
主权项：1.基板处理装置，其特征在于，通过在包含一种以上的药液及纯水的处理液中浸渍基板从而利用批处理控制对所述基板进行蚀刻处理或清洗处理，所述基板处理装置具备：处理槽，其贮留有用于对所述基板进行所述蚀刻处理或所述清洗处理的所述处理液；处理液更换部，当所述处理槽中的所述处理液的使用期到期时，所述处理液更换部对所述处理液进行更换；检测部，其对所述处理液中的纯水或其他的规定成分的浓度进行检测；浓度控制部，其在所述使用期到期之前的期间，将所述浓度控制在适于所述蚀刻处理或所述清洗处理的浓度范围内；和延期部，其将利用所述处理液更换部进行的所述处理液的更换延期至所述蚀刻处理或所述清洗处理的下一批处理开始时，在通过所述延期部而使得所述处理液的更换被延期的期间，所述浓度控制部也将所述浓度控制在适于所述蚀刻处理或所述清洗处理的浓度范围内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置及基板处理方法
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