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申请/专利权人：深圳泰研半导体装备有限公司
摘要：本实用新型提供的一种带有阴极温控装置的等离子刻蚀设备，包含下腔体、支撑平台、阴极温控装置，阴极温控装置包含阴极板、进水组件、出水组件，阴极板上设有输水通路，进水组件、出水组件均包含进出水连接件、绝缘环、绝缘套筒、水管转接件，进出水连接件包含进出水管、限位板，支撑平台上贯穿设置有第一通孔，阴极板底部设置有进出水口，支撑平台顶部设置有容纳槽，阴极板底部和限位板顶部之间抵接有第一密封圈，限位板底部和绝缘环顶部之间抵接有第二密封圈，绝缘环底部和容纳槽底部之间抵接有第三密封圈，绝缘套筒包含连接段、限位段，限位段顶部和下腔体底部之间抵接有第四密封圈，可以降低加工难度，确保密封性良好，提高温控效率。
主权项：1.一种带有阴极温控装置的等离子刻蚀设备，包含下腔体、设置于所述下腔体底部的支撑平台，其特征在于，所述下腔体上设置有阴极温控装置，所述阴极温控装置包含设置于所述支撑平台顶部的阴极板、进水组件、出水组件，所述阴极板上在其两侧壁之间贯通设置有多个输水通路，多个所述输水通路相互连通，所述进水组件、出水组件均包含进出水连接件、绝缘环、绝缘套筒、水管转接件，所述进出水连接件包含进出水管、设置于所述进出水管顶部的限位板，所述支撑平台上贯穿设置有与所述进出水管匹配的第一通孔，所述进出水管设置于所述第一通孔中，所述阴极板底部设置有连通所述输水通路和所述进出水管的进出水口，所述支撑平台顶部设置有与所述限位板匹配的容纳槽，所述绝缘环设置于所述容纳槽底部且套设在所述进出水管上，所述限位板设置于所述容纳槽中且抵接在所述绝缘环和所述阴极板之间，所述阴极板底部和所述限位板顶部之间抵接有第一密封圈，所述限位板底部和所述绝缘环顶部之间抵接有第二密封圈，所述绝缘环底部和所述容纳槽底部之间抵接有第三密封圈，所述绝缘套筒包含连接段、设置于所述连接段底部的限位段，所述下腔体底壁上贯穿设置有与所述连接段匹配的第二通孔，所述连接段设置于所述第二通孔中，所述限位段抵接在所述下腔体底部，所述限位段顶部和所述下腔体底部之间抵接有第四密封圈，所述进出水管设置于所述绝缘套筒内部，所述水管转接件插装在所述进出水管底端。
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