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申请/专利权人：芯嵛半导体(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开一种高分辨率电磁铁分析器，所述高分辨率电磁铁分析器包括有围绕带状离子束的行进路径的弓形磁轭结构，所述高分辨率电磁铁分析器的出口一端外设置有具有狭缝的分辨槽，用于使带状离子束传输通过分辨槽的狭缝从而从动量不同的污染物离子中分离出所需离子。本实用新型通过高分辨率电磁铁分析器使得离子继续往目标处前行，能够更好地满足目前高品质先进半导体工艺的要求。
主权项：1.一种高分辨率电磁铁分析器，其特征在于，其包括有围绕带状离子束的行进路径的弓形磁轭结构，弓形磁轭结构包括有弓形壁结构，弓形磁轭结构的两端分别为带状离子束的入口开口端和出口开口端，弓形磁轭结构的弓形壁结构围成用作带状离子束的空间通道的内部空间区域；所述高分辨率电磁铁分析器还包括有近似镜像对称的两个环形线圈，两个环形线圈平行地设置为对准的阵列，每个环形线圈均包括若干分立线圈，环形线圈的两端为端部弯曲段，同一环形线圈的两个端部弯曲段的弯曲方向相同；环形线圈中形成有一组按顺序串联的多个导电段；对准的阵列中的其中一个环形线圈的两个端部弯曲段的弯曲方向与另一个环形线圈的两个端部弯曲段的弯曲方向相反；在所述高分辨率电磁铁分析器的出口一端外设置有具有狭缝的分辨槽，用于使带状离子束传输通过分辨槽的狭缝且从动量不同的污染物离子中分离出所需离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯嵛半导体(上海)有限公司 一种高分辨率电磁铁分析器
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