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申请/专利权人：浙江优众新材料科技有限公司
摘要：本实用新型属于半导体制造技术领域，具体是涉及一种新型ALD镀膜防绕镀夹具，包括有ALD镀膜机，ALD镀膜机内部安装有呈竖直方向排列若干个可推拉的横板，横板上设置有镀膜夹具，镀膜夹具包括有：固定座安装在横板上，用于固定夹具在横板上的位置；上盖通过螺栓固定安装在固定座的顶部，用于盛放晶圆片；固定座的顶部设置有凹槽，上盖的底部设置有开口，开口与凹槽相互配合形成真空仓；密封圈安装在固定座和上盖之间，用于将真空仓密封；真空接头安装在固定座的底部，用于将真空仓内的空气抽空。本实用新型可以避免单面绕镀问题，保证晶圆镀膜的可靠性。
主权项：1.一种新型ALD镀膜防绕镀夹具，包括有ALD镀膜机1，ALD镀膜机1内部安装有呈竖直方向排列若干个可推拉的横板2，横板2上设置有镀膜夹具3，其特征在于，镀膜夹具3包括有：固定座3a安装在横板2上，用于固定夹具在横板2上的位置；上盖3b通过螺栓固定安装在固定座3a的顶部，用于盛放晶圆片；固定座3a的顶部设置有凹槽，上盖3b的底部设置有开口，开口与凹槽相互配合形成真空仓4；密封圈3c安装在固定座3a和上盖3b之间，用于将真空仓4密封；真空接头3d安装在固定座3a的底部，用于将真空仓4内的空气抽空。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江优众新材料科技有限公司 一种新型ALD镀膜防绕镀夹具
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