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申请/专利权人：中国科学院金属研究所
摘要：本实用新型涉及激光维加工领域，具体涉及一种采用汇聚飞秒激光加工二维薄膜的装置。该装置包括样品承载移动系统、飞秒激光器系统、显微成像系统和上位机。样品承载移动系统包括吸附台、位移台、吹扫设备、驱动器和运动控制卡。飞秒激光器系统包括飞秒激光器和依次布置的反射镜、快门、二向色片和长焦物镜。显微成像系统包括CCD相机、普通光源和半反半透镜。上位机分别与样品承载移动系统、飞秒激光器系统、显微成像系统连接。利用该装置，可以快速方便地对薄膜材料进行切割，刻蚀，微结构加工。
主权项：1.一种采用汇聚飞秒激光加工二维薄膜的装置，其特征在于，包括：样品承载移动系统、飞秒激光器系统、显微成像系统和上位机；所述样品承载移动系统包括吸附台、位移台、吹扫设备、驱动器和运动控制卡；待加工二维薄膜设置在吸附台上，吸附台安装在位移台上，运动控制卡通过信号线连接驱动器，驱动器通过驱动线连接位移台的步进电机，从而驱动位移台进行X、Y、Z三个方向的运动，吹扫设备用于切割时对待加工二维薄膜进行吹扫；所述飞秒激光器系统包括飞秒激光器和依次布置的反射镜、快门、二向色片和长焦物镜；飞秒激光器系统发出的激光以45°角入射到反射镜，反射后的激光以45°角入射到二向色片，激光经二向色片反射后垂直入射到长焦物镜，通过长焦物镜汇聚到待加工二维薄膜上；所述显微成像系统包括CCD相机、普通光源和半反半透镜；普通光源发出的白光以45°角入射到半反半透镜，反射的光以45°角入射到二向色片，透过二向色片的光通过长焦物镜汇聚到待加工二维薄膜上，光在二维薄膜表面反射后依次透过长焦物镜、二向色片和半反半透镜后进入CCD相机中成像；所述上位机分别与样品承载移动系统、飞秒激光器系统、显微成像系统连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院金属研究所 一种采用汇聚飞秒激光加工二维薄膜的装置
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