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申请/专利权人：联盛半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种清洗花篮水平输送装置，涉及硅片清洗装置领域，包括两导轨、安装在两导轨上的顶面平齐的若干滑板、控制装置；各导轨的正上方设有与其平行的槽钢，各滑板的两端分别连接一槽钢；各槽钢的内侧面设有平行于所述槽钢的滑槽；两槽钢之间设有花篮固定架，花篮固定架的两端分别位于距其最近的滑槽内；一槽钢外侧面上一端安装有主动轮，另一端安装有从动轮，主动轮、从动轮通过环状传动带相连，其中主动轮与安装在所述槽钢上的驱动电机相连；与主动轮最远的滑板与环状传动带的下端相连，花篮固定架与环状传动带的上端相连。本实用新型便于通过水平输送机构将硅片清洗篮流转输送架从非密闭环境下输送到密闭环境中。
主权项：1.一种清洗花篮水平输送装置，其特征在于：包括两相互平行且顶面平齐的导轨（1）、安装在两导轨（1）上的顶面平齐的若干滑板（2）、控制装置；各导轨（1）的正上方设有与其平行的槽钢（3），各滑板（2）的两端分别连接一槽钢（3）；各槽钢（3）的内侧面设有平行于所述槽钢（3）的滑槽（4）；两槽钢（3）之间设有花篮固定架（5），花篮固定架（5）的两端分别位于距其最近的滑槽（4）内；一槽钢（3）外侧面上一端安装有主动轮（6），另一端安装有从动轮（7），主动轮（6）、从动轮（7）通过环状传动带（8）相连，其中主动轮（6）与安装在所述槽钢上的驱动电机（13）相连；与主动轮（6）最远的滑板（2）与环状传动带（8）的下端相连，花篮固定架（5）与环状传动带（8）的上端相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 联盛半导体科技(无锡)有限公司 一种清洗花篮水平输送装置
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