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一种双区域石英坩埚的内坩埚 

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申请/专利权人:常州轶梵科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种双区域石英坩埚的内坩埚,具体涉及一种连续拉制单晶硅棒的工作系统中的一种双区域坩埚的内坩埚。本实用新型的内坩埚是与外坩埚相配合的圆柱筒形内埚体,内埚体上下端敞开,内埚体的侧面设置有横向通孔,内埚体的上沿口固定有耳环。本实用新型的有益效果是,在外坩埚废弃时,内坩埚能方便地与外坩埚相脱离,以保留内坩埚并重复使用。

主权项:1.一种双区域石英坩埚的内坩埚,其特征在于:包括内筒体(11)和耳环(12),内筒体(11)是内侧上下端贯通敞开的圆环状直筒体;所述的耳环(12)固定在内筒体(11)的上沿口。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 常州轶梵科技有限公司 一种双区域石英坩埚的内坩埚

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