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申请/专利权人：赣州市志合光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种玻璃面板多片式镀膜装置，包括主体和控制台，所述主体的正面卡接有玻璃输送板，所述主体的底面固定连接有真空泵，所述控制台的内壁固定连接有加热元件，所述控制台的内壁固定连接有第一驱动电机，所述控制台的内壁固定连接有第二驱动电机，所述主体的内壁固定连接有蒸发源，所述主体的内壁固定连接有第一离子源；本实用新型通过蒸发源对玻璃进行加热，然后第一离子源和第二离子源跟蒸发源相互配合，通过发射离子可以增强薄膜与玻璃面板之间的结合力，最后通过电子束枪，发射电子束，轰击蒸发源上的镀膜物质，使其蒸发，通过蒸发源和第一离子源和第二离子源和电子束枪相互配合可以提高镀膜质量和均匀性。
主权项：1.一种玻璃面板多片式镀膜装置，包括主体（1）和控制台（3），其特征在于：所述主体（1）的正面卡接有玻璃输送板（7），所述主体（1）的底面固定连接有真空泵（11），所述控制台（3）的内壁固定连接有加热元件（17），所述控制台（3）的内壁固定连接有第一驱动电机（18），所述控制台（3）的内壁固定连接有第二驱动电机（16），所述主体（1）的内壁固定连接有蒸发源（20），所述主体（1）的内壁固定连接有第一离子源（21），所述主体（1）的内底壁固定连接有第二离子源（23），所述主体（1）的内底壁固定连接有温度感知器（19），所述主体（1）的内壁固定连接有电子束枪（22），所述主体（1）相互靠近的一侧面均开设有玻璃卡槽（25），所述主体（1）的内壁固定连接有膜厚监测仪（24）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赣州市志合光电科技有限公司 一种玻璃面板多片式镀膜装置
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