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申请/专利权人：苏州欣威晟电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆片甩干技术领域的一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，包括箱体，箱体的底部四周均设置有垫块，箱体的内腔底部中心处呈矩形状设置有四组支撑杆，四组支撑杆的顶部共同连接设置有电机安装板，电机安装板的顶部设置有低速电机，低速电机的顶部设置有电机轴；在对晶圆片进行甩干处理时，可一次性将多片晶圆片通过吸盘吸附固定在吸附台的顶部，这样在相同的时间内可一次性甩干多片晶圆片，从而大大的增加了工作效率；吸附台与连接板之间是活动连接的可进行拆卸，当遇到大小型号不同的晶圆片时，可将吸附台拆卸，依据晶圆片大小型号来更换带有不同数量的吸盘的吸附台，这样即可对不同大小型号不同的晶圆片进行甩干处理。
主权项：1.一种安装有吸附台的晶圆片甩干装置，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的底部四周均设置有垫块2，所述箱体1的顶部呈敞口设置，且箱体1的顶部设置有相配合的密封盖3，所述箱体1的内腔底部中心处呈矩形状设置有四组支撑杆4，四组所述支撑杆4的顶部共同连接设置有电机安装板5，所述电机安装板5的顶部设置有低速电机6，所述低速电机6的顶部设置有电机轴7，所述箱体1的内腔中部设置有防水隔板8，所述电机轴7的顶部贯穿防水隔板8的中心处，并延伸至防水隔板8的顶部中心处，所述防水隔板8的外壁四周等距离设置有四组连接杆9，且连接杆9远离防水隔板8的一端均与箱体1的内腔内壁连接，所述电机轴7的顶部设置有连接板10，所述连接板10的顶部活动连接吸附台11，所述吸附台11的顶部外周环绕设置有吸盘12，所述吸附台11的左右两侧均设置有把手13，所述箱体1的内腔后端面底部左侧设置有排水孔14。
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权利要求：
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