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申请/专利权人:济南汉江光电科技有限公司
摘要:本实用新型提出一种检测仪器真空度、替换仪器内气体的装置,包括:腔体、阀门、上盖板、垫圈、真空表,阀门安装在腔体两面上,上盖板安装有真空表,上盖板压住安装在腔体上的垫圈通过螺纹连接与腔体安装固定,形成高密封性腔体。装置简洁,便于安装使用,可以在狭小空间以及多种安装方式下使用,并可以为体积较大,不便于安装真空检测装置的仪器进行真空检查,并且真空检测结果更易观察记录;可作为大型真空仪器或惰性气体腔体的中间设备,快速更换腔体内的气氛环境。
主权项:1.一种检测仪器真空度、替换仪器内气体的装置,其特征在于:包括:腔体、阀门、上盖板、垫圈、真空表,阀门安装在腔体两面上,上盖板安装有真空表,上盖板压住安装在腔体上的垫圈通过螺纹连接与腔体安装固定。
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