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申请/专利权人：淄博芯材集成电路有限责任公司
摘要：本实用新型提供一种显影后载板用搬运装置，涉及输送结构技术领域。搬运装置包括架体，所述架体上设有转运机构和承托机构，所述承托机构设置在转运机构上，所述承托机构包括承托板，所述承托板上设有N个承托件，N≥3n，n为搬运装置单次搬运载板的数量；所述承托件的承托端面为半球状，所述承托板的内周边缘上开设有若干个均匀分布的真空吸附孔。本实用新型通过承托机构承托载板并形成柔性点接触，通过转运机构对承托机构和承托机构上的载板进行输送，可以实现对载板的自动化快速搬运；基于此，解决了现有技术中的搬运方式和搬运装置，无法尽量避免对载板表面上干膜的划伤或磨损，并且实现高效率搬运的问题。
主权项：1.一种显影后载板用搬运装置，包括架体1，其特征在于：所述架体1上设有转运机构和承托机构，所述承托机构设置在转运机构上，所述承托机构包括承托板2，所述承托板2上设有N个承托件4，N≥3n，n为搬运装置单次搬运载板的数量；所述承托件4的承托端面为半球状，所述承托板2的内周边缘上开设有若干个均匀分布的真空吸附孔3。
全文数据：
权利要求：
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