龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本实用新型属于薄膜沉积设备领域，公开了一种用于薄膜沉积设备的重载旋转机构及薄膜沉积设备，重载旋转机构包括刚性架和载盘，刚性架包括刚性旋转套和刚性框架，刚性旋转套用于与旋转轴固定连接，刚性框架呈镂空状且中部与刚性旋转套固定连接；载盘固定设置于刚性框架远离旋转轴的一侧且不与旋转轴接触，载盘的导热性高于刚性架的导热性，载盘的刚性小于刚性架的刚性。本实用新型通过刚性架与载盘的巧妙结合，刚性较弱的载盘得到刚性架的支撑，支撑面积有所加大，增加了载盘承受重载工件的安全性，且载盘仍可采用原有的导热性能较好的材料，刚性架中的刚性框架为缕空结构，有较大的空隙区域以利于热传导，进而利于镀膜工件工艺温度要求的实现。
主权项：1.一种用于薄膜沉积设备的重载旋转机构，安装于旋转轴上，其特征在于，包括：刚性架，包括刚性旋转套和刚性框架，所述刚性旋转套用于与所述旋转轴固定连接，所述刚性框架呈镂空状且中部与所述刚性旋转套固定连接；载盘，固定设置于所述刚性框架远离所述旋转轴的一侧且不与所述旋转轴接触，所述载盘的导热性高于所述刚性架的导热性，所述载盘的刚性小于所述刚性架的刚性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司 一种用于薄膜沉积设备的重载旋转机构及薄膜沉积设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号